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低頻振動信號監測
摘要：
問題： 我們正在監測半導體光刻設備內部的極低頻振動信號，以保證精確的印刷復制。我們選擇使用Endevco?的86型集成電路壓電式加速度計因其具有低噪聲，高靈敏度和近DC響應能力。雖然我們認為這是對我們應用來說最佳選擇，但是86型加速度計只能夠測量到mg級（10-3g）振動，而我們的要求是達到μg級（1...
低頻振動信號監測
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創建時間： 2019-07-16 10:29:12
分類：Endevco-Ask The EXPERT
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摘要：
問題： 我們正在監測半導體光刻設備內部的極低頻振動信號，以保證精確的印刷復制。我們選擇使用Endevco?的86型集成電路壓電式加速度計因其具有低噪聲，高靈敏度和近DC響應能力。雖然我們認為這是對我們應用來說最佳選擇，但是86型加速度計只能夠測量到mg級（10-3g）振動，而我們的要求是達到μg級（1...
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問題： 我們正在監測半導體光刻設備內部的極低頻振動信號，以保證精確的印刷復制。我們選擇使用Endevco?的86型集成電路壓電式加速度計因其具有低噪聲，高靈敏度和近DC響應能力。雖然我們認為這是對我們應用來說最佳選擇，但是86型加速度計只能夠測量到mg級（10-3g）振動，而我們的要求是達到μg級（1...
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